電拋光機身,增強耐腐蝕性。
閥體和氣門彈簧為不銹鋼(SUS304)。主體經過電解拋光,增強耐腐蝕性。
密封材料可根據您的流體和應用進行選擇,靈活地滿足您的半導體生產工藝要求。
所有部件都經過清潔、組裝、檢查,然后在潔凈室中包裝。
無油脂。密封材料上不涂抹潤滑脂。
每個插頭都配有防塵蓋。
不銹鋼SUS316閥體和閥彈簧可作為定制產品提供。
1.核心性能與參數:采用雙路開關閥門結構,分離時自動閉合,泄漏量≤0.015mL,能避免高純度流體浪費與污染;工作壓力達 2bar,適配半導體生產的低壓流體傳輸需求。安裝螺紋可選 Rc1/8 等規格,還支持 UNS 等定制螺紋,搭配 SP 型 1S 插座使用,可滿足不同管路安裝需求,且流體傳輸壓力損失小,保障傳輸效率。
2.材質與工藝:主體與閥門彈簧均采用 SUS304 不銹鋼,該材質抗拉強度≥515MPa,兼具良好強度與韌性,不易破裂變形。主體經電解研磨處理,大幅提升耐腐蝕性,可抵御高純度化學品侵蝕;密封材質選用 PERFLO,適配各類半導體生產常用化學流體。同時采用實心棒料加工工藝,保障接頭結構精度與穩定性。
3.應用場景與適配性:核心適配半導體生產設備的高純度化學品傳輸管路,比如晶圓清洗、光刻膠涂覆等工序的流體輸送。此外還可用于化工高純度試劑傳輸、電子元器件制造中的精密流體管路等場景。能匹配空氣及多種高純度化學流體,且可與同系列 SP 型插座無縫對接,適配不同半導體生產線的管路布局需求。
4.技術優勢與差異化:相比普通接頭,其電解研磨工藝讓耐腐蝕性遠超未經處理的不銹鋼接頭,適配半導體行業嚴苛的防污染需求。自帶防塵蓋,搭配 PERFLO 專用密封材質,形成雙重防護,避免雜質進入污染流體。且采用免工具插拔設計,相比傳統螺紋接頭,大幅提升頻繁拆裝場景的作業效率,同時內置防脫結構,振動環境下也能保持連接穩固,防止意外脫離。
5.品質與售后保障:產品經無塵室組裝檢測,符合半導體行業潔凈標準,出廠前經過嚴格的密封性能與耐腐蝕性測試。售后方面可享受原廠原裝配件供應保障,專業團隊提供遠程技術指導,解決安裝與故障問題。
6.實際價值與案例:實際應用中可減少高純度化學品泄漏損耗,降低半導體生產的物料成本與環境污染風險,免工具操作也減少生產線停機時間,提升整體產能。例如某大型半導體晶圓制造廠將其用于光刻工序的顯影液傳輸管路,通過其高密封性避免顯影液污染,保障晶圓加工良率,同時頻繁拆裝作業效率較傳統接頭提升 40% 以上,大幅降低了設備維護成本。
型號尺寸表
插頭

套件

配件

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